-
我開(kāi)發(fā)新型飛秒激光等離子激元光刻技術(shù) 可加工石墨烯
10日,記者從中科院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所獲悉,來(lái)自該所等單位的研究人員,開(kāi)發(fā)了一種新型飛秒激光等離子激元光刻技術(shù)(FPL)。利用該技術(shù),研究人員在百納米厚的硅基氧化石墨烯薄膜表面實(shí)現(xiàn)了高質(zhì)量微納周期結(jié)構(gòu)的快速制備。相關(guān)成果發(fā)表在《光:科學(xué)與應(yīng)用》上。
石墨烯被發(fā)現(xiàn)以來(lái),二維材料逐漸進(jìn)入人們視野,成為材料領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。自組裝、電子束刻蝕和極紫外光刻等技術(shù)可以在石墨烯上制備微納結(jié)構(gòu),進(jìn)而調(diào)控其帶隙、吸收、載流子遷移率等性能。但這些技術(shù)存在著耗時(shí)長(zhǎng)、成本高、缺乏通用性等問(wèn)題。因此,如何降低成本,高效制備微納結(jié)構(gòu)石墨烯,是目前需要解決的重要問(wèn)題。
飛秒激光加工技術(shù)憑借著超高峰值功率和超短脈沖持續(xù)時(shí)間的獨(dú)特優(yōu)勢(shì),被廣泛應(yīng)用于多種材料的超精細(xì)微納加工領(lǐng)域。然而,以激光直寫(xiě)為例,雖然其精度很高,但在超精細(xì)微納制備上,效率仍有待提高。同時(shí)保證加工精度和加工效率是該技術(shù)需要解決的主要問(wèn)題之一?!叭绾卫渺`活簡(jiǎn)便的加工手段解決加工精度和加工效率問(wèn)題是拓展飛秒激光實(shí)用化的關(guān)鍵所在?!敝锌圃洪L(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所研究員楊建軍說(shuō)。
研究首次證明了FPL技術(shù)在二維薄膜材料上能夠?qū)崿F(xiàn)大面積高質(zhì)量亞微米周期結(jié)構(gòu)的快速制備。得益于飛秒激光的非線性光學(xué)特點(diǎn),F(xiàn)PL技術(shù)加工過(guò)程不易受材料表面缺陷、雜質(zhì)等因素的影響,加工基底也不易受到材料種類(lèi)的限制。加工材料表現(xiàn)出了優(yōu)異的機(jī)械性能,可以利用傳統(tǒng)的濕轉(zhuǎn)移法進(jìn)行完整轉(zhuǎn)移。這為相關(guān)材料周期性微納結(jié)構(gòu)的靈活制備奠定了基礎(chǔ)。
(科技日?qǐng)?bào) 陸成寬)
- 原標(biāo)題:我開(kāi)發(fā)新型飛秒激光等離子激元光刻技術(shù) 可加工石墨烯
- 責(zé)任編輯: 翟欽奇 
-
上海昨日無(wú)新增
2020-05-11 08:00 新冠肺炎抗疫戰(zhàn) -
內(nèi)蒙古新增境外輸入病例7例
2020-05-11 07:46 新冠肺炎抗疫戰(zhàn) -
吉林新增3例,均為舒蘭市
2020-05-11 07:42 新冠肺炎抗疫戰(zhàn) -
警方通報(bào)女童被騙走殺害案:嫌疑人系刑釋人員,已刑拘
2020-05-11 07:09 -
母親節(jié)也不安生,港警帶走多人
2020-05-10 23:00 香港 -
安徽3名未成年人輪奸未滿14歲少女,被判3年半至4年
2020-05-10 22:05 依法治國(guó) -
人大代表:建議刑事責(zé)任年齡起點(diǎn)降至13周歲
2020-05-10 21:41 依法治國(guó) -
李克強(qiáng)對(duì)云上2020年中國(guó)品牌日活動(dòng)作出重要批示
2020-05-10 21:04 -
遼寧新增病例行程公布:為舒蘭關(guān)聯(lián)病例
2020-05-10 21:01 新冠肺炎抗疫戰(zhàn) -
杭州公布幼兒園開(kāi)學(xué)時(shí)間
2020-05-10 20:15 新冠肺炎抗疫戰(zhàn) -
習(xí)近平總書(shū)記關(guān)切事丨增強(qiáng)困難群眾對(duì)疫情影響的抵抗力
2020-05-10 19:40 新冠肺炎抗疫戰(zhàn) -
鐘華論:在民族復(fù)興的歷史豐碑上——2020中國(guó)抗疫記
2020-05-10 19:28 新冠肺炎抗疫戰(zhàn) -
上海郵政管理局:快遞員未按消費(fèi)者意愿投送,可投訴
2020-05-10 19:21 -
吉林舒蘭“封城”
2020-05-10 19:01 新冠肺炎抗疫戰(zhàn) -
遼寧新增1例本土病例
2020-05-10 17:32 新冠肺炎抗疫戰(zhàn) -
武漢東西湖區(qū)調(diào)整為中風(fēng)險(xiǎn)
2020-05-10 17:19 新冠肺炎抗疫戰(zhàn) -
吉林省委書(shū)記:舒蘭疫情非常嚴(yán)峻,必須迅速進(jìn)入戰(zhàn)時(shí)狀態(tài)
2020-05-10 16:28 新冠肺炎抗疫戰(zhàn) -
中國(guó)品牌日,習(xí)近平“三個(gè)轉(zhuǎn)變”重要指示指明方向
2020-05-10 16:18 新時(shí)代新氣象新作為 -
研究生被導(dǎo)師刁難墜亡?中傳回應(yīng)
2020-05-10 16:18
相關(guān)推薦 -
伊朗首都傳出巨大爆炸聲,以色列稱(chēng)已發(fā)動(dòng)精確打擊 評(píng)論 45目睹這些場(chǎng)景,良心不會(huì)痛嗎 評(píng)論 195“金磚為什么火?因?yàn)闆](méi)走西方拉幫結(jié)派的老路” 評(píng)論 54IMF對(duì)華講公道話,美媒酸了 評(píng)論 73美國(guó)發(fā)布首份AI備忘錄,“得防中國(guó)戰(zhàn)略突襲” 評(píng)論 109最新聞 Hot
-
伊朗幾個(gè)軍事基地遭以軍報(bào)復(fù)性襲擊
-
目睹這些場(chǎng)景,良心不會(huì)痛嗎
-
“金磚為什么火?因?yàn)闆](méi)走西方拉幫結(jié)派的老路”
-
“公用火力發(fā)電比例高于中國(guó),美領(lǐng)導(dǎo)地位?!?/a>
-
他倆定期“秘密對(duì)話”?克宮回應(yīng)
-
以色列襲擊黎巴嫩南部,致3名記者死亡
-
美衛(wèi)星解體恐殃及中國(guó),“很難評(píng)估有多糟糕”
-
怕特朗普攪局,歐盟擬加碼“長(zhǎng)期維持”對(duì)俄制裁
-
“伊朗已下令準(zhǔn)備開(kāi)戰(zhàn),考慮發(fā)射1000枚導(dǎo)彈回?fù)簟?/a>
-
英國(guó)國(guó)王承認(rèn)了,但也沒(méi)有提賠償
-
美國(guó)發(fā)布首份AI備忘錄,“得防中國(guó)戰(zhàn)略突襲”
-
“英國(guó)軍情五處完全在胡說(shuō)八道”
-
普京回應(yīng)“朝軍援俄”傳聞
-
被批“中國(guó)有支票美國(guó)有清單”,他又畫(huà)餅忽悠…
-
又嗆上了:野蠻人也好意思自詡捍衛(wèi)文明…
-
沒(méi)中國(guó)能成嗎?澳大利亞部長(zhǎng)這么說(shuō)
-