在和國(guó)際上各團(tuán)隊(duì)與公司對(duì)1 μm固體激光驅(qū)動(dòng)等離子體EUV光源CE的實(shí)驗(yàn)結(jié)果作對(duì)比后發(fā)現(xiàn)，林楠團(tuán)隊(duì)研究中所獲得的CE最大值3.42%，已處于國(guó)際靠前水平，并超過商業(yè)化二氧化銅激光驅(qū)動(dòng)EUV光刻光源CE值的一半。

“本文建立了固體激光驅(qū)動(dòng)等離子體EUV光源實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，開展了1 μm固體激光激發(fā)Sn等離子體EUV輻射特性實(shí)驗(yàn)研究，（CE最大值3.42%）處于國(guó)際靠前、國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平?！闭撐膶懙馈?

這篇論文還提到，目前商用二氧化碳激光驅(qū)動(dòng)的EUV光源轉(zhuǎn)換效率約為5.5%，該團(tuán)隊(duì)使用1 μm固體激光實(shí)現(xiàn)3.42%的最大轉(zhuǎn)換效率，超過了荷蘭納米光刻高級(jí)研究中心（ARCNL）在2019年記錄的3.2%和瑞士蘇黎世聯(lián)邦理工學(xué)院在2021年記錄的1.8%；但落后于美國(guó)中佛羅里達(dá)大學(xué)在2007年達(dá)到的4.9%，以及日本宇都宮大學(xué)在去年創(chuàng)下的4.7%的轉(zhuǎn)換效率。

林楠團(tuán)隊(duì)研究人員估計(jì)，其所建光源實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的理論最大轉(zhuǎn)換效率可能接近6%。他們?cè)谡撐闹斜硎?，正?jì)劃增加進(jìn)一步的研究，以優(yōu)化理論和實(shí)驗(yàn)結(jié)果。

國(guó)際上各團(tuán)隊(duì)和公司實(shí)現(xiàn)的1 μm固體激光驅(qū)動(dòng)等離子體EUV光源轉(zhuǎn)換效率對(duì)比 《中國(guó)激光》

值得注意的是，林楠團(tuán)隊(duì)在這篇論文中提及研究背景時(shí)指出，隨著芯片制造的不斷發(fā)展，EUV光刻機(jī)已成為高端芯片大規(guī)模量產(chǎn)和工業(yè)化不可或缺的設(shè)備，目前僅有荷蘭阿斯麥公司能夠制造，但對(duì)中國(guó)禁售。

《南華早報(bào)》也指出，自2019年以來(lái)，由于來(lái)自美國(guó)的不斷施壓，全球唯一的EUV設(shè)備制造商阿斯麥已收緊了對(duì)華半導(dǎo)體出口規(guī)則，尤其是在對(duì)華銷售最先進(jìn)型號(hào)的光刻機(jī)設(shè)備方面。

在本月的一次投資者電話會(huì)議上，阿斯麥CEO富凱曾聲稱，中國(guó)確實(shí)有可能制造出EUV光源，但要造出完整的EUV光刻機(jī)，還需要很多很多年時(shí)間。

阿斯麥CEO富凱 《經(jīng)濟(jì)學(xué)人》資料圖

今年3月5日，阿斯麥發(fā)布2024年度報(bào)告。《南華早報(bào)》注意到，報(bào)告顯示，盡管面臨美國(guó)不斷施壓，這家荷蘭企業(yè)仍計(jì)劃于2025年在中國(guó)首都北京建立一個(gè)“新的回收與維修中心”。臺(tái)媒《經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)》分析稱，美國(guó)一直阻止阿斯麥向中國(guó)出售最新設(shè)備，阿斯麥或考慮通過擴(kuò)大維修業(yè)務(wù)以穩(wěn)固中國(guó)市場(chǎng)。

根據(jù)最新年報(bào)內(nèi)容顯示，2024年，阿斯麥實(shí)現(xiàn)凈銷售額282.63億歐元，同比增長(zhǎng)2.55%，創(chuàng)下歷史新高。凈利潤(rùn)為75.71億歐元，較2023年降低了3.4%。去年，中國(guó)大陸首次取代中國(guó)臺(tái)灣，成為阿斯麥第一大市場(chǎng)，銷售額達(dá)到101.95億歐元，占其全球總營(yíng)收的約36.1%。

針對(duì)美國(guó)脅迫荷蘭對(duì)華進(jìn)行科技封鎖的相關(guān)情況，中國(guó)外交部發(fā)言人此前曾回應(yīng)稱，中方一貫反對(duì)美國(guó)泛化國(guó)家安全概念，以各種借口脅迫其他國(guó)家搞對(duì)華科技封鎖。半導(dǎo)體是高度全球化的產(chǎn)業(yè)，在各國(guó)經(jīng)濟(jì)深度融合的背景下，美方有關(guān)霸道、霸凌行徑嚴(yán)重違背國(guó)際貿(mào)易規(guī)則，嚴(yán)重破壞全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局，嚴(yán)重沖擊國(guó)際產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈的安全和穩(wěn)定，必將自食其果。

中方敦促荷方，秉持客觀公正立場(chǎng)和市場(chǎng)原則，尊重契約精神，以實(shí)際行動(dòng)維護(hù)中荷兩國(guó)和雙方企業(yè)的共同利益，維護(hù)國(guó)際產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈的穩(wěn)定和自由、開放、公正、非歧視的國(guó)際貿(mào)易環(huán)境。中方將密切關(guān)注有關(guān)動(dòng)向，堅(jiān)決維護(hù)自身合法權(quán)益。

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