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國產(chǎn)高能離子注入機成功實現(xiàn)百萬電子伏特高能離子加速

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2020-06-29 06:29:23 字號：A- A A+ 來源：新華網(wǎng)

最后更新: 2020-06-29 06:45:21

新華社6月28日報道，記者28日從中國電子科技集團有限公司獲悉，由該集團旗下電科裝備自主研制的高能離子注入機成功實現(xiàn)百萬電子伏特高能離子加速，性能達到國際先進水平。

據(jù)介紹，離子注入機是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預(yù)定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預(yù)定能量并注入至特定半導(dǎo)體材料中，離子注入機即是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備。

高能離子注入機是離子注入機中技術(shù)難度最大的機型。長久以來，因其極大的研發(fā)難度和較高的行業(yè)競爭壁壘，被稱為離子注入機領(lǐng)域的“珠穆朗瑪峰”，是我國集成電路制造裝備產(chǎn)業(yè)鏈上亟待攻克的關(guān)鍵一環(huán)。

電科裝備在離子注入機領(lǐng)域具有較好的技術(shù)積淀，已連續(xù)突破中束流、大束流、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等離子注入機產(chǎn)品研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化難題，產(chǎn)品廣泛服務(wù)于全球知名芯片制造企業(yè)。

電科裝備離子注入機總監(jiān)張叢表示，電科裝備將在年底前推出首臺高能離子注入機，實現(xiàn)我國芯片制造領(lǐng)域全系列離子注入機自主創(chuàng)新發(fā)展，并為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機成套解決方案。

（記者胡喆）
標(biāo)簽芯片半導(dǎo)體離子注入機
- 原標(biāo)題：國產(chǎn)高能離子注入機成功實現(xiàn)百萬電子伏特高能離子加速
- 責(zé)任編輯: 奕含
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