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青嵐:四十年兩場“芯片戰(zhàn)爭”,ASML怎么從獵人變成獵物
客觀來看,經(jīng)歷狂風暴雨洗刷,中國半導體產(chǎn)業(yè)生態(tài)發(fā)育已大為改觀,從設備材料到特色工藝、產(chǎn)品品類,越來越多空白點得到填補,海外廠商近年來“拱手相讓”的優(yōu)質客戶,為本土供應商提供了以往不敢想象的導入機會,生態(tài)網(wǎng)絡的橫向、縱向聯(lián)系顯著加深。
中國集成電路創(chuàng)新聯(lián)盟秘書長葉甜春,近期就分享過這樣一組半導體材料國產(chǎn)化進展:
12英寸45-28納米工藝用材料品種覆蓋率超過70%;先進存儲工藝用材料品種覆蓋率超過75%;
大硅片產(chǎn)品取得全面突破,實現(xiàn)對國內(nèi)FAB廠主要工藝的全覆蓋;
光刻膠取得突破性進展,i線膠市占率超過20%,KrF膠市占率達10%,ArF干式膠開始批量應用,部分品種ArFi浸沒式膠開始小批量應用;
濺射靶材實現(xiàn)對國內(nèi)FAB廠的全面供應,部分產(chǎn)品國際市場占有率超過40%;
本土企業(yè)已成為CMP拋光材料、特種電子氣體、工藝化學品的主力供應商;
傳統(tǒng)封裝用主要材料實現(xiàn)自主供應......
先進制程這顆大樹之外,中國半導體產(chǎn)業(yè)的整片森林已大為繁茂。
當然,我們還遠未到可以彈冠相慶的時候,縱觀7納米及以上制程產(chǎn)業(yè)生態(tài),各節(jié)點從無到有、從有到優(yōu)的進程還任重道遠,但無論如何,從資源到應用,主動權已牢牢掌握在中國人自己手中,半導體產(chǎn)業(yè)不屈不撓的努力,必將穩(wěn)步地達到自己的目的。
至于先進制程的追趕,一方面,我們的確需要正視其難度,少一些喋喋不休的“雞血”,以EUV光刻機為例,其LPP光源就涉及到激光器和錫液滴發(fā)生器、收集鏡三大工程挑戰(zhàn),ASML旗下Cymer的突破,相當程度上受益于LLNL等美國國家實驗室在慣性約束聚變上的知識積累,這也是美國對ASML長臂管轄的底氣所在,而中國工程團隊想要借鑒現(xiàn)有系統(tǒng)框架,則面臨著氣體激光器研究人才斷檔等一系列現(xiàn)實問題。
但另一方面看,即便獲得蔡司、通快(Trumpf)等核心供應商全力支持,ASML從啟動EUV光刻研究到向大生產(chǎn)線交付產(chǎn)品,也歷經(jīng)了整整二十年磨難,然而LPP-EUV可供挖掘的技術潛力,卻未必能支持后來者有同樣的二十年時間打磨迭代。強行拉升數(shù)值孔徑的Hyper-NA EUV,面臨焦深過小和掩膜三維效應等多重制約,光刻技術體系的又一次大變局或許將在追趕的中途發(fā)生。
目前從IRDS路線圖更新看,自由電子激光(FEL)或許最有希望成為下一代6.X納米光刻光源的基礎,而在這個少有公眾關注的領域,中國研究者的創(chuàng)新能力并不遜色于歐美同行。
我們在這條潛在賽道上的競爭力,不僅體現(xiàn)在FEL大裝置規(guī)格和數(shù)量上,2021年,中國科學院上海光學精密機械研究所強場激光物理國家重點實驗室,更是在基于激光加速器的小型化自由電子激光研究上取得突破性進展,率先完成臺式化自由電子激光原理實驗驗證,確立了我國在該領域的全球領跑地位。
領跑全球的我國小型化FEL技術
總之,面對橫亙在光刻極限前的道道難關,我們的攻堅不僅需要埋頭苦干,更呼喚著因地制宜、因時制宜的“巧干”。
至于“芯片戰(zhàn)爭”的另一大目的,即帶動高端制造業(yè)復興,美國商務部長雷蒙多對此有一段直白的解說:“我們將讓制造硬件再次變得性感起來。在美國制造硬件,獲得一份體面、光鮮、高薪的工作不好么?我們所有人將共同重建我們的工業(yè)基礎,增強美國的創(chuàng)新能力,創(chuàng)造數(shù)十萬個高薪工作”。
雷蒙多的夢想,源于其兒時經(jīng)歷,在那段被她講述過許多遍的故事里,制表商寶路華(Bulova)把工廠搬去中國,生生摧毀了制表工人們聚居的社區(qū)。
她所提到的寶路華,曾在石英表技術發(fā)展史上做出過奠基性貢獻,然而就是這樣一家掌握獨門技術的企業(yè),反而在產(chǎn)業(yè)化上逐漸掉隊,最終在所謂“石英危機”中被迫變賣。
細究寶路華的歷史,擊倒它的其實不是來自中國或者日本的競爭,而恰恰是懷念著舊日好時光的美國人自己,“高薪工作”與制造業(yè)成本體系的剛性下降趨勢之間,存在著難以調和的內(nèi)在張力。
寶路華,正是美國制造業(yè)命運的一個隱喻。
收收味吧,反思怪們
對于ASML和其他半導體產(chǎn)業(yè)界言辭懇切的呼吁,在中文輿論場上卻始終回蕩著一種難以理解的聲音,為野蠻粗暴的美式管制歡呼叫好,話里話外暗示中國企業(yè)的遭遇是有錯在先,從而招致“文明世界”被迫回擊,“為啥不欺負別人只欺負你”的鄉(xiāng)愿式解讀大行其道。
在點化群氓、深刻反思之前,這些洞悉天下事的“文化人”,大有必要先對自己的“精神祖國”補上一些通識。
上世紀八十年代曠日持久的美日貿(mào)易戰(zhàn)、技術戰(zhàn)里,美國人早已展示過“文明世界”的底色。
1982年,一位年輕華裔技術員陳果仁之死震驚全美,僅僅因幾句口角,兩名素昧平生的底特律汽車工人就用棒球棍將他毆打致死,被誤認成日本人的陳果仁,不幸成為兇手對日本汽車工業(yè)仇恨的發(fā)泄對象。
事后,美國法官判處兇手三年緩刑和3000美元罰款,判詞中理直氣壯地寫道:“你不能讓懲罰與罪行相稱,你應該讓懲罰與罪犯(品行)相稱”。
同樣在這一時期,被不斷打磨塑造的“日本威脅論”,激發(fā)不少小鎮(zhèn)商店主掛出了“日本人禁止入內(nèi)”(No Japs Allowed)的標牌;一家俄亥俄州小診所為員工購買美國國產(chǎn)品牌汽車提供400美元補貼,“Buy American”運動隨即風靡一時,從理發(fā)到加油,開國產(chǎn)車的顧客總能得到打折待遇,甚至交通違章,也能因法官的“同情分”而獲寬宥;洛杉磯地鐵試圖采購日本制造的車組,則引起了潮水般的電話“網(wǎng)暴”......
對這樣的海量“個案”,某些國內(nèi)文人大概是不敢將之扣上“義和團”大帽的。
相比這種基層涌動的“民氣”,美國精英階層的表現(xiàn)同樣令人印象深刻。
勞聯(lián)-產(chǎn)聯(lián)負責人柯克蘭(Lane Kirkland)毫不遮掩地表示:“聽到日本人懇求自由貿(mào)易,就像是從妓女的嘴里聽到‘愛’這個詞一樣”;眾議院大佬布魯克斯(Jack Brooks)直言,杜魯門只向日本投下兩顆核彈是一個遺憾,“他本應該投四顆”,更多國會議員則在考慮對所有日本進口商品征收25%的關稅;在經(jīng)濟界,知名學者勞倫斯·薩默斯承認“現(xiàn)在認為日本對美國的威脅比蘇聯(lián)更大的多數(shù)美國人可能是正確的”,《哈佛商業(yè)評論》主編艾倫·韋伯總結稱:“與日本的冷和平正在取代與蘇聯(lián)的冷戰(zhàn)”。
在輿論場上,彼時的新銳華盛頓智囊們,給曼斯菲爾德等老一代國別研究專家戴上了“菊花親吻者”(Chrysanthemum Kisser)的頭銜,時而渲染“數(shù)百名華盛頓精英正領取日本津貼”的驚悚故事,時而描繪與貿(mào)易對手之間即將到來的軍事沖突。
當然,說到筆下千鈞的功力,還得看傳奇記者白修德(Theodore White)。
在其發(fā)表于1985年的經(jīng)典報道《來自日本的危險》中,白修德寥寥幾筆就勾勒出日本半導體產(chǎn)業(yè)的舊賬與新仇:“今年,通產(chǎn)省的主要目標顯然是美國電子行業(yè)。去年美國對日電子貿(mào)易逆差超過了汽車貿(mào)易逆差,達到154億美元。美國半導體行業(yè)正遭受攻擊。日本人毫不留情地提出要抹殺美國在該行業(yè)的霸主地位,而這種優(yōu)勢正是基于我們自己的研究和發(fā)明。日立現(xiàn)在是電子產(chǎn)品出口商,在二戰(zhàn)的最后兩周,作為日本領先的武器制造商之一,它被我們的轟炸機炸成了碎片。但日立現(xiàn)在正在反擊,其口氣再次變得咄咄逼人。該公司正試圖從英特爾和AMD手中奪走半導體市場”。
與此同時,白修德以驚人的坦率與冷峻,解剖了美利堅民族焦慮的根源:
“如果全世界所有人都享有同等的自由貿(mào)易權,那么那些工人感激微薄工資的國家可以征服美國等發(fā)達國家的市場,而美國工人要求的工資是世界上最高的。亞洲的生活水平必須提高,否則我們的水平就會下降,直到達到平衡......日本的后面是‘四小龍’,中國和印度則緊隨其后,它們迫切希望提高生活水平—必要時,不惜犧牲美國人的生活水平......所有國家都想效仿日本,不惜犧牲美國的就業(yè)機會,良心不允許美國人排斥世界上那些努力改善自己生活的窮苦人,但常識不允許我們走一條以我們的貧困為代價讓他們改善生活的道路......日本人也享有同樣的和平,在我們的保護下,幾乎不用付出任何代價,卻保留了將美國人的生計逼入絕境的權利”。
正如白修德所袒露的,在某種美式思維里,美國式生活水平與后發(fā)國家工業(yè)化之間,就是存在著一根心照不宣的“高壓線”。
在當下改頭換面的“芯片戰(zhàn)爭”表演中,不難看到對冷戰(zhàn)末期腳本堪稱像素級的抄襲。只要我們一天沒有停下發(fā)展的腳步,像日本那樣沉淪在“失去的XX年”,美國朝野的歇斯底里恐怕就一天也不會停歇。
不過時移勢易,這樣的狹隘心理和霸道做法,在今天不僅無法阻擋中國科技自強之路,卻反而會堵住如ASML之流的“伙伴”發(fā)展空間,有朝一日美國夢醒時分,ASML的統(tǒng)治性地位,恐怕也將一去不復返。
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- 責任編輯: 李沛 
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