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ASML明年出貨30臺(tái)EUV光刻機(jī) 新一代設(shè)備效能提升24%
關(guān)鍵字: 半導(dǎo)體來源:TechNews科技新報(bào)
就在臺(tái)積電與三星陸續(xù)將晶圓制造先進(jìn)制程推向7納米節(jié)點(diǎn)之際,全球半導(dǎo)體設(shè)備大廠艾司摩爾(ASML)也表示,在2018年預(yù)計(jì)出貨總共18臺(tái)極紫外光光刻機(jī)(EUV)之后,2019年更將把出貨量提升到30臺(tái)。而且,還將在2019年下半年推出效能較前一代EUV提升24%的全新機(jī)款,以逐步滿足市場需求。
ASML明年出貨30臺(tái)EUV光刻機(jī) 新一代設(shè)備效能提升24%
根據(jù)ASML日前所公布的2018年第3季財(cái)報(bào)指出,該季營收達(dá)到27.8億歐元,其中,設(shè)備銷售營收為20.81億歐元,安裝管理服務(wù)等業(yè)務(wù)營收達(dá)6.95億歐元,數(shù)字較第2季成長13.4%,較2017年同期也成長1%。毛利率達(dá)到了48.1%,相較第2季增加5.2個(gè)百分點(diǎn),較2017年同期也增加了4.8個(gè)百分點(diǎn)。
以EUV的銷售情況來看,ASML在第3季總共出貨了5臺(tái)EUV,而第2季則是出貨7臺(tái)EUV,在預(yù)計(jì)第4季還將出貨6臺(tái)EUV的情況下,全年總計(jì)將出貨的數(shù)量將達(dá)到18臺(tái),還預(yù)計(jì)2019年EUV的出貨數(shù)量將放大到30臺(tái)。
另外,而在EUV的銷售中,韓國公司占銷售金額比重33%,中國臺(tái)灣公司占比為30%,而中國大陸公司的銷售占比則為18%。這樣的數(shù)字,相較第2季的情況,韓國公司下降2個(gè)百分點(diǎn),中國臺(tái)灣公司則是提升了12百分點(diǎn),中國大陸公司則是下跌1個(gè)百分點(diǎn)。
而就2019年整體EUV預(yù)估出貨的情況來分析,除了EUV出貨數(shù)量將大幅成長之外,ASML在2019年下半年還將推出效能進(jìn)一步強(qiáng)化的NXE:3400C型EUV光刻機(jī),其每小時(shí)處理的晶圓數(shù)量(WPH)將能達(dá)到155片,較目前的NXE:3400B型EUV光刻機(jī)的WPH能達(dá)成125片的效能來說,NXE:3400C型的產(chǎn)能預(yù)計(jì)將提升24%,這對改善EUV制程的產(chǎn)能將很有幫助。
不過,雖然將推出新一代NXE:3400C型EUV光刻機(jī),其效能較上一代EUV能提升24%。但是,要全面取代傳統(tǒng)的氟化氬(ArF)沉浸式光刻機(jī),可能還有一段時(shí)間。
因?yàn)?,即便新一代NXE:3400C型EUV光刻機(jī)能達(dá)到155 WPH的產(chǎn)能,但是相較現(xiàn)在的(ArF)沉浸式光刻機(jī)產(chǎn)能可達(dá)250 WPH來說,EUV光刻機(jī)的產(chǎn)能還有一大段距離要努力。所以,要全面取代目前仍為時(shí)尚早。
標(biāo)簽 半導(dǎo)體- 原標(biāo)題:ASML明年出貨30臺(tái)EUV光刻機(jī) 新一代設(shè)備效能提升24%
- 責(zé)任編輯:呂棟
- 最后更新: 2018-10-20 22:22:26
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