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光刻機巨頭ASML回應荷蘭出口管制新規(guī):只涉及部分DUV
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呂棟lvdong@guancha.cn
最后更新: 2024-05-08 22:32:39【文/觀察者網(wǎng) 呂棟】
6月30日晚間,荷蘭光刻機巨頭ASML在向觀察者網(wǎng)提供的一份聲明中稱,荷蘭政府于今日頒布了有關半導體設備出口管制的新條例。正如其在今年三月發(fā)布的消息中所述,這些新的出口管制條例針對對象為先進的芯片制造技術,包括最先進的沉積設備和浸潤式光刻系統(tǒng)。
ASML表示,根據(jù)新出口管制條例規(guī)定,該公司需要向荷蘭政府申請出口許可證才能發(fā)運最先進的浸潤式DUV系統(tǒng)(即TWINSCAN NXT:2000i及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng))。荷蘭政府將決定是否授予或拒發(fā)出口許可證,并將向ASML提供許可證所附條件的細節(jié)。
ASML在聲明中重點指出,荷蘭政府新頒布的出口管制條例只涉及TWINSCAN NXT:2000i及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)(DUV,深紫外光刻)。而該公司的EUV光刻(極紫外光刻)系統(tǒng)在此前已經(jīng)受到限制,其他系統(tǒng)的發(fā)運暫未受荷蘭政府管控。
“ASML將繼續(xù)遵守適用的出口管制條例,其中包括荷蘭、歐盟及美國的出口管制條例?!?
這家光刻機巨頭稱,荷蘭政府新頒布的出口管制條例將于2023年9月1日生效,在此日期前,ASML可開始提交出口許可證申請,荷蘭政府將視具體情況批準或拒絕這些申請。
ASML參展SEMICON China 2023 圖源:觀察者網(wǎng)
當?shù)貢r間周五(6月30日),荷蘭政府正式宣布限制某些先進半導體設備出口的新規(guī),這些規(guī)定將于9月1日生效。具體而言,荷蘭政府將要求先進芯片制造設備的公司在出口之前須獲得許可證。盡管荷蘭政府并未直接點名會受到限制的公司,但外界都明白這是在針對當?shù)刈畛雒陌雽w設備公司ASML。
荷蘭方面這一動作其實早有跡象。今年3月,荷蘭外貿(mào)與發(fā)展合作大臣施賴納馬赫爾(Liesje Schreinemacher)就曾向荷蘭議員宣稱,“鑒于技術發(fā)展和地緣政治背景,政府得出結論,為了(國際)國家安全,有必要擴大對特定半導體制造設備的現(xiàn)有出口管制?!?
彼時ASML就曾發(fā)布聲明稱,新出口管制并不適用于所有的浸潤式光刻系統(tǒng),而只適用于所謂“最先進的”,并且這些管控措施轉化為立法并生效還需要時間。ASML所謂“最先進的”DUV,是指TWINSCAN NXT:2000i和后續(xù)推出的浸潤式系統(tǒng)。
這也意味著,ASML生產(chǎn)的TWINSCAN NXT:1980Di等更成熟的浸潤式DUV機型不在受限范圍。
觀察者網(wǎng)查詢方正證券2020年6月發(fā)布的研報發(fā)現(xiàn),TWINSCAN NXT:2000i DUV(雙工作臺深紫外光刻機)曾是ASML最先進的浸沒式光刻系統(tǒng),也是EUV光刻機之前的重要過渡產(chǎn)品,同時是后期7nm/5nm產(chǎn)能的重要補充。這種機型在2018年就已開始出貨,被視為可用于生產(chǎn)7nm等制程(多次曝光)。
ASML官網(wǎng)顯示,TWINSCAN NXT:2000i專為與EUV混合使用而設計,可為高級邏輯和DRAM節(jié)點的大批量制造提供出色的覆蓋、聚焦控制和交叉匹配。比這款光刻機更先進的型號是TWINSCAN NXT:2050i,該系統(tǒng)滿足多種圖案化要求,為在高級邏輯和DRAM節(jié)點制造300毫米晶圓提供經(jīng)濟高效的解決方案。
ASML官網(wǎng)截圖
在先后兩次聲明中,這家荷蘭光刻機巨頭提到,主要關注成熟制程的客戶,可以使用不太先進的浸潤式光刻工具,“我們認為這些管制條例不會對已發(fā)布的2023年財務展望以及于2022年11月投資者日宣布的長期展望產(chǎn)生重大影響”。
但不能自由出貨,ASML在華收入將不可避免受到干擾。該公司預計2023年中國大陸銷售額將保持在22億歐元左右(約合人民幣162億元),而全球總銷售額將增長25%,因為主要客戶臺積電和英特爾都在擴產(chǎn)。
根據(jù)ASML財報,2022年該公司共出貨345臺光刻系統(tǒng),其中有81臺浸潤式DUV光刻機(ArFi),占比為23%。所有產(chǎn)品中,42%銷往中國臺灣,29%銷往韓國,14%銷往中國大陸,銷往美國的只有7%。
ASML光刻機型號(資料圖)
在荷蘭政府宣布新的半導體出口管制條例后,中國駐荷蘭大使館6月30日很快做出回應:荷蘭政府正式出臺半導體制造設備的出口管制措施,這是對出口管制措施的濫用,是對自由貿(mào)易和國際經(jīng)貿(mào)規(guī)則的嚴重背離,中方對此堅決反對。
“我們呼吁荷方從維護國際經(jīng)貿(mào)規(guī)則及中荷經(jīng)貿(mào)合作大局出發(fā),立即糾正錯誤做法。中方將堅決維護自身合法權益。同時,也愿與荷方一道,本著互利互惠的原則,共同探討解決方案,共同推動中荷經(jīng)貿(mào)關系健康發(fā)展。”中國駐荷蘭大使館發(fā)言人表示。
ASML方面也早就對出口管制做出過警示。今年2月,在接受歐洲媒體對話時,ASML首席執(zhí)行官溫彼得直言,如果美國及其盟友切斷中國(大陸)獲得某些半導體和半導體制造技術的渠道,中國將被迫加倍努力開發(fā)自主技術。他坦言,雖然出口管制是合法工具,但不應該被濫用,決策者在“擺弄”半導體供應鏈之前應充分了解它的復雜性。
本文系觀察者網(wǎng)獨家稿件,未經(jīng)授權,不得轉載。
- 責任編輯: 呂棟 
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